磁悬浮涡轮分子泵

Supermag®磁悬浮涡轮分子泵通过先进的磁悬浮轴承技术将转子完全无接触悬浮，无机械摩擦、无润滑油、洁净度高、运转可靠振动低，可实现超高真空环境，被广泛应用于半导体和泛半导体领域，如晶圆加工、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、科研、光伏等。

Product Highlights

Product series

Parameter characteristics

Data

产品亮点

可实现极限真空10^-7Pa~10^-8Pa

磁悬浮转子可运行到很高的转速

控制器与泵机可提供分体式与一体化集成

智能化控制软件，支持远程调试

无油无摩擦、洁净度高

磁悬浮设计减少轴承摩擦损耗，无需添加润滑油润滑脂

维护成本低、寿命长

洁净无磨损、使用寿命长

噪音小，振动低

运转可靠性高

安全、可靠

智能监控分子泵运行数据，保证长期运行安全

磁悬浮涡轮分子泵产品系列

SCT 550

极限压力（烘烤后）

10^-7 Pa～10^-8 Pa

额定转速

45000rpm

抽速

N₂: 320 L/s 、 He: 340 L/s 、 H₂: 320 L/s

SCT 900

极限压力（烘烤后）

2*10^{-7 Pa}

额定转速

26000rpm

抽速

N₂: 2200 L/s、He: 2000 L/s 、 H₂: 1800 L/s

参数特征