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全球最大国际半导体展会 SEMICON China 2024,已于今年3月22日在上海新国际博览中心圆满落幕。本届展览覆盖芯片设计、制造、封测、设备、材料、显示和零部件等全产业链;全球半导体头部企业悉数到场,与国内外业者畅谈全球产业格局,市场走势以及新兴技术应用。
本届展会以“跨界全球,心芯相联”为主题,聚焦包括:“汽车芯片”、“智能制造”、“先进材料”、“功率及化合物”、“硅基显示”在内的多个半导体热门议题;从半导体产业链、智能制造、车用半导体、功率及化合物半导体、创新投资等行业方向,为全球半导体专业人士展示了最新技术趋势与前端应用。
SEMICON CHINA 2024 展馆:上海新国际博览中心
作为国内领先的磁悬浮核心技术解决方案提供商,苏磁科技在三天的展期中频频受到各国企业的广泛关注,国内外头部半导体厂商对苏磁科技的系列展品表现出了浓厚的兴趣,对产品展现的优异功能及苏磁科技强大的自研能力发出了由衷的赞许。
其中磁悬浮涡轮分子泵作为苏磁科技最新研发的系列产品,首次亮相便凭借其“超真空、高洁净、高可靠”的产品技术特点,在展会现场引起了的热烈反响,其在晶圆加工、刻蚀、薄膜沉积等半导体应用领域展现的强大功能吸引了在场的大批观众。
展品受到国内外观众的高度关注
同时,在“关键工艺介质的超纯、安全输送”与“消除工艺设备的颗粒污染”两个半导体的核心需求领域,苏磁科技也为全球头部半导体企业展示了基于先进磁悬浮无轴承电机技术研发的磁悬浮晶圆转台、磁悬浮泵和磁悬浮搅拌系统,让高洁净,低剪切的工艺装备升级方案走进更多的半导体企业。
展示方案获得了现场观众的一致好评
每一年SEMICON China,苏磁都会为全球半导体行业带来前沿的磁悬浮技术方案展示。苏磁关注半导体行业工艺的核心需求和技术变革,也一直致力于为半导体行业提供满足更多应用场景的磁悬浮解决方案,让先进的磁悬浮技术助力半导体行业工艺装备革新。
高洁净、高可靠的磁悬浮技术
苏磁科技磁悬浮涡轮分子泵
苏磁科技自主研发的磁悬浮涡轮分子泵,通过先进的磁悬浮轴承技术将转子完全无接触悬浮,无机械摩擦、无润滑油、洁净度高、运转可靠振动低,可实现超高真空环境,被广泛应用于半导体和泛半导体领域,如晶圆加工、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、科研、光伏等。
苏磁科技磁悬浮晶圆转台
苏磁科技磁悬浮晶圆转台,完全自主研发,可应用于:氧化、扩散和退火、快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、单片晶圆清洗、MOCVD、刻蚀、旋涂等高端芯片的制程工艺中。磁悬浮支撑,无摩擦、无动密封、不产生颗粒。中空转子,便于布局。洁净可靠,是高洁净环境中旋转运动的最优方案。
苏磁科技磁悬浮泵
苏磁科技磁悬浮泵,完全自主研发,应用于湿制程清洗、CMP、电镀等半导体生产过程中。采用先进的全磁悬浮技术,无机械摩擦、不产生颗粒、低剪切、低析出。控制智能,转速实时可调,保证稳定的流量与压头。是高端芯片制程工艺中,高纯流体输送的最佳解决方案。
苏磁科技磁悬浮搅拌系统
苏磁科技磁悬浮搅拌系统,完全自主研发,桨叶悬浮在液体中工作,完全避免了机械摩擦,无异物生成。几乎完全消除了剪切力,洁净温和,可实现多相介质的快速混合。控制智能,可精确操控桨叶运动,支持正反转。稳定可靠,转子周围无流场死区,可应用于高端生物制药的混匀过程中。
关于苏磁科技
苏州苏磁智能科技有限公司Supermag®拥有先进的磁悬浮无轴承电机技术和产品,为半导体、生物制药、化工、能源等领域提供高洁净、低剪切的磁悬浮电机、磁悬浮流体输送和搅拌、及磁悬浮高真空解决方案。
苏磁科技磁悬浮产品在半导体领域,满足高端芯片制造的苛刻工艺要求;在生物制药领域,保障了药液在输送和搅拌中免受破坏;在化工领域,完全避免了动密封引起的泄漏风险;在高端能源装备领域,具有明显的节能效果和极高的可靠性。
苏磁科技拥有完备的质量体系,获ISO 9001质量管理体系认证,其产品已获CE、SEMI S2等国际认证,并进入多家百亿级客户供应链。公司始终为客户提供及时有效的售后服务和技术支持。
苏磁科技磁悬浮技术目前已申请专利116项,含PCT12项,发明专利52项。核心团队成员拥有美国、德国、日本等优秀从业背景,曾成功研发全球唯二的磁悬浮人工心脏。未来,公司将持续聚焦于磁悬浮技术,为客户提供洁净、可靠的产品和解决方案。
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