SEMI-e 2024丨创“芯”之源，“磁”智未来，苏磁科技与您相约深圳国际半导体展

2024-06-19 11:56:00

2024 | SUPERMAG & SEMI-e

“芯”中有“算”，智享未来

SUPERMAG 全“芯”亮相SEMI-e

SEMI-e第六届深圳国际半导体展将于6月26-28日在深圳国际会展中心（宝安新馆）揭幕，苏磁科技将受邀参展。

中国庞大的市场需求是对所有半导体企业的第一吸力，不断涌现的新兴业者成为了全球半导体格局中的新变量，其中关联产业也正因为这股新生力量在不断的磨合创新中迎来新的技术变革。

随着市场上半导体技术的日益小型化和复杂化，高端芯片的制程工艺流程越来越严苛，其中“关键工艺介质的超纯、安全输送”与“消除工艺设备的颗粒污染”是两个核心需求。苏磁旗下磁悬浮系列产品针对这两点提供了洁净、可靠的行业解决方案，助力半导体行业工艺装备革新。

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#苏磁科技展位8B37

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部分展品抢先看
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本次SEMI-e，苏磁科技将携旗下磁悬浮系列产品亮相：磁悬浮晶圆转台、磁悬浮泵、磁悬浮涡轮分子泵、磁悬浮搅拌系统。

SCM 磁悬浮晶圆转台

苏磁科技自主研发的磁悬浮晶圆转台，为半导体设备中晶圆支撑和旋转而设计，使用先进的全磁悬浮轴承与电机集成控制技术。转子悬浮在空中旋转，无摩擦、无动密封、不产生颗粒。可应用于：氧化、扩散和退火、快速热处理（RTP）、快速退火（RTA）、单片晶圆清洗、MOCVD、刻蚀、旋涂等高端芯片的制程工艺中。

SCP系列磁悬浮泵

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苏磁科技自主研发的磁悬浮泵，可用于高纯溶液的输送。转子悬浮在液体中工作，无机械摩擦、不产生颗粒、低剪切、低析出。流量压头范围宽、脉动小、控制智能、体积紧凑，是高端半导体等生产过程中的最优解。

SCT 磁悬浮涡轮分子泵

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苏磁科技自主研发的磁悬浮涡轮分子泵，通过先进的磁悬浮轴承技术将转子完全无接触悬浮，无机械摩擦、无润滑油、洁净度高、运转可靠振动低，可实现超高真空环境，被广泛应用于半导体和泛半导体领域，如晶圆加工、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、科研、光伏等。

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